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            機臺基本規格:

            設備規格

            主機規格尺寸

            2200mm(L)x2000mm(W)x2100mm(H)

            總重量(含主機有泵浦)

            ≈ 1300kg

            功能

            速度

            0.1-3.5M/min

            處理寬幅

            260mm 雙列或 500mm 單列

            RF 發生系統

            等離子 RF 發生源

            8 個 or 10 個(每個 600W,可以選配 )

            數字電路控制

            配置

            等離子密度監控

            可以選配

            功率 / 溫度 / 轉速 / 溫度監控

            * 設備設計及規格可進行調整,以便提高設備性能。 


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