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            機臺基本規格:

            設備尺寸

            2000mm(L)×1750mm(W)×2200mm(H)

            真空室尺寸

            850mm(L)×962mm(W)×860mm(H)(可按產能訂制)

            垂直 / 水平 - 極板

            根據產品尺寸和產能要求 制定

            電極板

            標準:610mm*1100mm

            RF 等離子發生器 & 網絡匹配

            額定功率:0-10KW(AE)

            過程溫度控制

            30-150℃恒定可控

            氣體流量控制器,擴展至 5 路氣體

            0-1000ml/min-0-5000ml/min(   美國 MKS/ SEVEN STAR)

            真空測量

            0-10   TORR( 美國或日本)

            人機界面觸摸屏

            可根據中國區客戶實際需求,中文界面

            信號指示燈

            3 色帶警報

            真空發生系統

            干泵機組(臺灣 HanBell 干式真空機組,PS902 螺桿機組)

            * 設備設計及規格可進行調整,以便提高設備性能。


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